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"GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – monitorear con precisión cantidades exigentes de aire de escape en salas limp de semiconductores"
Las salas de proceso no son infrecuentes por estar caracterizadas por tener una entrada de aire altamente pura y una salida de aire contaminada en oposición. Por ejemplo, en la producción de semiconductores con sus etapas de fabricación químicas húmedas, se generan calidades de aire de escape agresivas.
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