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- Electrónica ( obleas, semiconductores, microchips,...)
Las primeras pruebas eléctricas con un paso de 20 nm representan otro hito en la validación del ecosistema de patrónización con luz ultravioleta extrema (EUV) de alta NA
Imec evalúa la capacidad de rendimiento eléctrico de las líneas metálicas con un paso de 20 nm, fabricadas mediante patrón único EUV de alta NA
Esta semana, imec, un centro de investigación e innovación líder mundial en nanoelectrónica y tecnologías digitales, presenta en SPIE Advanced Lithography + Patterning los primeros resultados de las pruebas eléctricas (e-test), obtenidos con estructuras conductoras metálicas con un paso de 20 nm, es…








