Neues Jahr, neuer Job? Zu den Angeboten! Mehr ...
Systec & Solutions GmbH Piepenbrock C-Tec HJM



Main entrance at X-FAB's Erfurt site
  • Neubau

Bund und Freistaat Thüringen unterstützen Schlüsselprojekt für Zukunft des Mikroelektronikstandorts Thüringen mit 127,4 Millionen Euro

Förderbescheid übergeben: X-FAB baut Erfurt zum Zentrum für Mikrosystemtechnik aus

Einen Förderbescheid über 127,4 Millionen Euro haben Thüringens Ministerpräsident Mario Voigt, Thüringens Wirtschaftsministerin Colette Boos-John und Erfurts Oberbürgermeister Andreas Horn heute in Erfurt an die X-FAB MEMS Foundry GmbH übergeben. Mit der Förderung von Bund und Freistaat Thüringen wi…

Abbildung 1 – Schematischer Vergleich zwischen (links) dem herkömmlichen „Via-Middle“-Ansatz und (rechts) dem „Local-BDI“-TSV-Ansatz unter der Annahme einer Zellenhöhe von 115 nm und einer Siliziumdicke von 500 nm. Abbildung 2 – Abhängigkeit des Kettenwiderstands von TSV/MOL-Via-Strukturen vom Überlagerungsfehler bei einem Überlagerungsfenster von 30 nm. Die durchgezogene schwarze Linie stellt die Simulationsergebnisse dar; die gestrichelten Linien stehen für eine Abweichung von ±5 %.
  • Elektronik (Wafer, Halbleiter, Mikrochips,...)

Der neue Integrationsansatz nutzt selbstausgerichtete Durchkontaktierungen im Silizium mit einer Strukturbreite von unter 100 nm und ermöglicht so Verbindungen von der Vorderseite zur Rückseite, die sich durch geringen Widerstand und geringe Leckströme sowie eine gute Überlagerungsgenauigkeit auszeichnen.

Sony und imec stellen ein hochdichtes Modul für die Rückseitenverbindung vor, das die Integration von 3D-Chips der nächsten Generation ermöglicht

– Sony und imec stellen ein neuartiges Modul zur Integration hochdichter, rückseitiger Sub-100-nm-Through-Si-Vias (TSVs) vor, das auf einem selbstausgerichteten Verfahren zur lokalen dielektrischen Isolierung auf der Rückseite (local BDI) basiert.
– Die so entstandenen Front-to-Back-TSVs weisen im Ve…

Besser informiert: Mit JAHRBUCH, NEWSLETTER, NEWSFLASH, NEWSEXTRA und EXPERTEN VERZEICHNIS

Bleiben Sie auf dem Laufenden und abonnieren Sie unseren monatlichen eMail-NEWSLETTER und unseren NEWSFLASH sowie NEWSEXTRA. Lassen Sie sich zusätzlich mit unserem gedruckten JAHRBUCH darüber informieren, was in der Welt der Reinräume passiert. Und erfahren Sie mit unserem Verzeichnis, wer die EXPERTEN im Reinraum sind.

PMS ClearClean Becker Vaisala