Entwicklungstrends der lokalen Reinraumtechniken in Europa und den USA
In Europa und den USA geht man den Weg der lokalen Reinräume, der Mini- bzw. Microenvironments. Es zeichnen sich 4 Möglichkeiten ab, diese lokalen Reinräume durch Enclosure (Einhausungen) zu realisieren
Enclosure
Die Enclosure sind Einhausungen zur Schaffung eines Minienvironments an einem Prozeßor…
Enclosure
Die Enclosure sind Einhausungen zur Schaffung eines Minienvironments an einem Prozeßor…








