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Ionenimplantation: Über ein Verfahren, das die Halbleiterherstellung revolutioniert hat

Die Entwicklung der Ionenimplantation in den 60er Jahren war eine der grundlegenden Voraussetzungen dafür, dass hochintegrierte Schaltkreise, wie wir sie heutzutage kennen, hergestellt werden können. Das Verfahren wird eingesetzt, um Fremdatome in einen Halbleiter einzubringen und auf diese Weise…

Die Ionenimplantation ist von zentraler Bedeutung für die Dotierung von Halbleitern, also den Prozess, bei dem Fremdatome in den Halbleiter eingebracht werden. (Copyright: FBH | Matthias Baumbach)
Ein Interview mit Dr. Andreas Thies aus dem FMD-Institut Leibniz FBH

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