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Fraunhofer IPMS und DIVE optimieren Halbleiterprozesse mit innovativem Messsystem
Das Fraunhofer-Institut für photonische Mikrosysteme IPMS hat gemeinsam mit der DIVE imaging systems GmbH einen fundamentalen Schritt zur ressourcensparenden Halbleiterfertigung etabliert. Mit der erfolgreichen Installation eines optischen Messgeräts von DIVE im Reinraum des Fraunhofer IPMS konnte…
