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Fraunhofer IPMS und DIVE optimieren Halbleiterprozesse mit innovativem Messsystem

Das Fraunhofer-Institut für photonische Mikrosysteme IPMS hat gemeinsam mit der DIVE imaging systems GmbH einen fundamentalen Schritt zur ressourcensparenden Halbleiterfertigung etabliert. Mit der erfolgreichen Installation eines optischen Messgeräts von DIVE im Reinraum des Fraunhofer IPMS konnte…

Die Experten von DIVE und dem Fraunhofer IPMS im Reinraum in Dresden. © Fraunhofer IPMS / Experts from DIVE and Fraunhofer IPMS in the cleanroom at Fraunhofer IPMS in Dresden. © Fraunhofer IPMS
Innovative Partnerschaft für ressourcensparende Waferkontrolle

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