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DFG fördert nachhaltige Modernisierung zentraler Forschungsanlage der TU Berlin
Eine zentrale Forschungsanlage der Technischen Universität Berlin wird fit gemacht für die nächsten Jahrzehnte: Mit Unterstützung der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) und des Landes Berlin wird die Plasmaätzanlage im Reinraum des Zentrums für Nanophotonik mit einem Gesamtvolumen von etwa 490.0…












