– Imec optimiert die CAR-basierte Technologie für die Single-Patterning-Verfahren mit hoher NA im EUV-Bereich bei mehreren Schichten der Logik-Technologieknoten A14/A10.
– Es wurden verschiedene Logikstrukturen mit engen Abständen bei Metallleitungen und Durchkontaktierungen demonstriert, darunter Mä…
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Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS erweitert seine Institutsleitung: Prof. Dr.-Ing. Wenke Weinreich übernimmt ab sofort die Position der zweiten Institutsleiterin und unterstützt damit den Institutsleiter Prof. Dr.-Ing. Harald Schenk in der strategischen und wissenschaftlichen…
In der Herstellung aktiver pharmazeutischer Wirkstoffe ist Präzision keine Option, sondern Voraussetzung. Das gilt für die Produktion und für alles, was sie am Laufen hält. Die Instandhaltung der eigenen Technik gehört für EUROAPI zum Tagesgeschäft. Jährlich wickelt das Unternehmen an 80.000 technis…
Eine zentrale Forschungsanlage der Technischen Universität Berlin wird fit gemacht für die nächsten Jahrzehnte: Mit Unterstützung der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) und des Landes Berlin wird die Plasmaätzanlage im Reinraum des Zentrums für Nanophotonik mit einem Gesamtvolumen von etwa 490.0…
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