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GEMÜ C60 mit erweiterten Steuerdruckbereichen
Mit erweiterten Steuerdruckbereichen vereinfacht GEMÜ die Integration des pneumatisch betätigten 2/2-Wege-Membranventils GEMÜ C60 in Anlagen der Halbleiterindustrie. Die erforderlichen Steuerdrücke richten sich nach Antriebsgröße und Steuerfunktion. So lässt sich die Druckversorgung gezielt auf das…













