Od pioniera w dziedzinie regeneracyjnych filtrów AMC
Hochwirksame Filter-Materialien für kosteneffiziente Außenluft-
Umluft- und Prozessluftfilterungen
Problemstellung:
Eine besondere Herausforderung in der Halbleiterfertigung mit geringen Strukturbreiten sind luftgetragene, gasförmige Substanzen, welche unerwünschte chemische Reaktionen an der Waferober…








