Nowy GEMÜ CleanStar High Purity Membranventil wyznacza standardy

GEMÜ C60 CleanStar, obsługiwany pneumatycznie oraz GEMÜ C67 CleanStar, obsługiwany ręcznie, rozmiar napędu 4. / GEMÜ C60 CleanStar, pneumatycznie obsługiwany oraz GEMÜ C67 CleanStar, ręcznie obsługiwany, rozmiar napędu 4.

Od wielu lat przemysł półprzewodników na całym świecie skutecznie wykorzystuje membranowe zawory serii GEMÜ CleanStar. Klienci GEMÜ doceniają zalety tego rozwiązania oraz liczne możliwe zastosowania dzięki przemyślanemu podziałowi rozmiarów napędów od 1 do 3. Teraz specjalista od zaworów rozszerza swoją rodzinę GEMÜ CleanStar o rozmiar 4, wyznaczając standardy pod względem footprintu i przepływu.

Wymagania przemysłu półprzewodników dotyczące techniki zaworowej stale rosną. Coraz mniejsze struktury na mikroczipach wymagają maksymalnej czystości i braku cząstek w płynach. Jednocześnie, w wyniku zwiększających się średnic wafli w ostatnich latach, rośnie również ilość potrzebnych mediów procesowych. GEMÜ odpowiada na oba te trendy wprowadzając nowy rozmiar napędu. Nowa AG 4 jest dostępna w rozmiarach nominalnych 1½" i 2", a elementy mające kontakt z mediami wykonane są z PFA lub PTFE TFMTM. Ta kombinacja umożliwia transport dużych ilości mediów i stosowanie wysokiej czystości techniki zaworowej już na poziomie zasilania i dystrybucji w produkcji półprzewodników. Jednocześnie, kompaktowy design GEMÜ CleanStar zapewnia znakomity stosunek przepływu do footprintu i w przyszłości zastąpi membranowe zawory GEMÜ 600 HP oraz GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: sprawdzony design zdobywa nowe zastosowania

Zalety serii GEMÜ CleanStar są liczne. Centralny nakręcany nakrętka zapewnia niezawodne połączenie między napędem a korpusem zaworu, całkowicie rezygnując z elementów metalowych. Design z mostkiem (weir style) zapewnia minimalne naprężenia podczas prowadzenia mediów, ogranicza martwe przestrzenie i nie narzuca kierunku przepływu. Zewnętrzne elementy, dzięki zastosowaniu PVDF, charakteryzują się bardzo dobrą odpornością chemiczną. W korpusie zintegrowano otwór do wykrywania wycieków oraz długie otwory do elastycznego montażu zaworów. Ponadto, seria standardowo wyposażona jest w wskaźnik położenia. Wszystkie te zalety zostały zachowane przy skalowaniu na nowy rozmiar 4. Dzięki większym rozmiarom nominalnym GEMÜ oferuje wszystkie wymienione korzyści produktowe już na poziomie zasilania i dystrybucji w produkcji półprzewodników (obiekt i pod-fab).