Nový GEMÜ CleanStar High Purity membránový ventil nastavuje standardy

GEMÜ C60 CleanStar, pneumaticky ovládané a GEMÜ C67 CleanStar, ručně ovládané, velikost pohonu 4. / GEMÜ C60 CleanStar, pneumatiky ovládané a GEMÜ C67 CleanStar, ručně ovládané, velikost pohonu 4.

Už mnoho let úspěšně využívá polovodičový průmysl po celém světě membránové ventily řady GEMÜ CleanStar. Zákazníci GEMÜ oceňují výhody konstrukce a širokou škálu možných použití díky promyšlenému stupňování velikostí pohonů 1 až 3. Nyní specialista na ventily rozšiřuje svou řadu GEMÜ CleanStar o velikost pohonu 4 a stanovuje měřítka co do rozměru a průtoku.

Požadavky polovodičového průmyslu na ventily neustále rostou. Čím menší jsou struktury na mikročipech, tím více je požadována maximální čistota a bezčásticová čistota médií. Současně se v posledních letech zvýšila i potřeba na procesní média kvůli rostoucím průměrům waferů. GEMÜ reaguje na oba tyto vývoje zavedením nové velikosti pohonu. Nový AG 4 je dostupný v jmenovitých velikostech 1½" a 2" a části, které přicházejí do kontaktu s médii, jsou vyrobeny z PFA nebo PTFE TFMTM. Tato kombinace umožňuje přepravu velkých množství médií a již na úrovni zásobování a distribuce výroby polovodičů používat vysoce čisté ventily. Současně kompaktní design GEMÜ CleanStar zajišťuje vynikající poměr průtoku a rozměru a v budoucnu nahradí membránové ventily GEMÜ 600 HP a GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: Osvedčený design dobývá nové aplikace

Výhody řady GEMÜ CleanStar jsou četné. Centrální závitová matice vytváří spolehlivé spojení mezi pohonem a tělesem ventilu a úplně se vyhýbá použití kovových dílů. Design s mostem (weir style) zajišťuje namáhaní odolný přenos médií, minimalizuje mrtvé prostory a neukládá žádný směr průtoku. Vnější díly mají díky použití PVDF velmi dobrou chemickou odolnost. V tělese jsou již integrovány průchozí otvory pro flexibilní montáž ventilů a také otvor pro detekci polohy. Navíc je řada standardně vybavena indikátorem polohy. Všechny tyto výhody byly zachovány při zvětšení na novou velikost pohonu 4. Díky větším jmenovitým velikostem činí GEMÜ všechny zmíněné výhody produktů již využitelné na úrovni zásobování a distribuce (zařízení a sub-fáze) výroby polovodičů.