-
- Elektronica (wafer, halfgeleider, microchips,...)
Eerste elektrische tests met een pitch van 20 nm vormen een verdere mijlpaal in de validatie van het High NA Extreme Ultraviolet (EUV) Patterning Ecosysteem
Imec onderzoekt de elektrische prestaties van metalen geleiders met een pitch van 20 nm, die zijn vervaardigd met High NA EUV Single Patterning
Deze week presenteert imec, een wereldwijd toonaangevend onderzoeks- en innovatiecentrum voor nano-elektronica en digitale technologieën, op de SPIE Advanced Lithography + Patterning de eerste resultaten van de elektrische test (e-test), die werden behaald met metalen geleidingsstructuren met een pi…
