Pfeiffer Vacuum introduceert de nieuwe turbopomp HiPace 2800 IT voor ionenimplantatieprocessen
- Hoog zuigvermogen voor lichte gassen
- Procesaanpassing door intelligent temperatuurbeheersingssysteem
- Lage bedrijfskosten door betrouwbare hybride lagerconstructie
Met de HiPace 2800 IT introduceert Pfeiffer Vacuum een turbopomp die speciaal is ontworpen voor ionenimplantatieprocessen. De doordach…








