CO₂-reiniging met membraanpompen
Vloeibaar, overdreven kritisch, gasvormig: reiniging van siliciumwafern met superkritisch kooldioxide
Netheid speelt een essentiële rol bij de productie van siliciumwafers om een goede geleidbaarheid en functionaliteit van de daarop geproduceerde geïntegreerde schakelingen (IC's) te waarborgen. Daarbij moet de oppervlakteruwheid van de wafers in meerdere bewerkingsstappen worden gereduceerd tot enke…








