Oczyszczanie CO₂ za pomocą pomp membranowych
Ciekły, nadkrytyczny, gazowy: Czyszczenie wafli krzemowych z nadkrytycznym dwutlenkiem węgla
Higiena odgrywa kluczową rolę w produkcji silikonowych wafli, aby zapewnić prawidłową przewodność i funkcję z produkowanych z nich układów scalonych (IC). W tym celu powierzchnia wafli musi zostać zredukowana do kilku nanometrów w wielu etapach pracy, a wafle muszą być czyszczone podczas procesów ob…








