Mini-omgevingen

De ontwikkeling van de cleanroomtechniek weg van het ballroom-concept vereist schone lucht systemen die de hoogste reinheid op het Point-of-Use garanderen. De MCRT GmbH heeft hiervoor een modulair mini-omgeving systeem ontwikkeld: de MCRT Clean Air Management systemen. Dit zijn schone lucht systemen die worden aangepast aan procesmachines. Hierbij worden via een drukruimte met laminaire verdeel-luchtuitlaat gestandaardiseerde filter-blaas-eenheden aangepast aan de geometrie van de machine. Dit vereist ook bij verschillende machinetypen slechts een geringe inspanning voor het aanhouden van reserveonderdelen. Suspensiefilters worden ingezet tussen H14 en U17 (ook PTFE). In het procesgebied worden daarmee cleanroomklassen tot 0,1 volgens Fed. Std. 209 bereikt. De systemen zijn UL-, Sematech- en Semi-conform. De verpakking vindt plaats in onze eigen cleanroom, eveneens volgens Semi-standaard.