Mini-ambienti

Lo sviluppo della tecnologia dei cleanroom, allontanandosi dal concetto di ballroom, richiede sistemi di aria pura che garantiscano la massima purezza al Point-of-Use. La MCRT GmbH ha sviluppato un sistema modulare di mini-ambienti: i sistemi di gestione dell'aria pulita MCRT. Si tratta di sistemi di aria pura adattati alle macchine di processo. In questo modo, tramite una camera di pressione con diffusore di aria laminare, vengono adattate unità di ventilazione con filtri standardizzati alla geometria della macchina. Ciò richiede, anche con diversi tipi di macchine, uno sforzo minimo per la disponibilità di pezzi di ricambio. I filtri antiparticolato vengono utilizzati tra H14 e U17 (anche PTFE). Nella zona di processo si raggiungono classi di cleanroom fino a 0,1 secondo Fed. Std. 209. I sistemi sono conformi a UL, Sematech e Semi. L'imballaggio avviene nel nostro cleanroom, anch'esso conforme agli standard Semi.