Fraunhofer IPMS ondersteunt de ontwikkeling van het 300 mm proces bij Smart-Power-technologieën voor de halfgeleiderfabrikant Infineon op de locatie Dresden

300-mm-sterielruimte van het Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS / 300 mm cleanroom bij het Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS

Luchtfoto van Infineon Dresden. © Infineon Technologies AG / Luchtfoto van Infineon Dresden. © Infineon Technologies AG

"Smart-Power-Technologien" in toepassingen voor eindgebruikers. © Infineon Technologies AG / "Smart power technologies" in toepassingen voor eindgebruikers. © Infineon Technologies AG

In een ongeveer eenjarig gezamenlijk ontwikkelingsproject zijn belangrijke vorderingen geboekt in de productie van «Smart-Power-technologieën». Hierbij heeft het Fraunhofer IPMS de halfgeleiderfabrikant Infineon aanzienlijk ondersteund door het leveren van geselecteerde procesmodules binnen de volledige CMOS-proceswaardeketen op 300 mm-wafers.

De samenwerking heeft een belangrijke bijdrage geleverd aan de procesontwikkeling voor de uitbreiding van de fabriek bij Infineon Dresden. Meer dan 2000 wafers zijn in het kader van deze samenwerking succesvol verwerkt. Daarbij werden de wafers meerdere keren uitgewisseld tussen het Fraunhofer IPMS en Infineon Dresden om een optimale benutting van de middelen en een optimale integratie in de productielijnen te waarborgen.

„De resultaten van dit gezamenlijke project zijn uiterst veelbelovend en markeren een belangrijke vooruitgang voor de productie van -Smart-Power-technologieën- bij Infineon Dresden“, aldus projectleider Andreas Thamm van Infineon. „De nauwe samenwerking en het leveren van procesmodules door het Fraunhofer IPMS hebben ons in staat gesteld om de procesoverdracht die nodig is voor de uitbreiding van onze productiecapaciteiten op 300 mm-installaties sneller dan gepland te realiseren.“

Het succesvolle verloop van dit project onderstreept de technologische competentie en de effectieve samenwerking tussen het Fraunhofer IPMS en zijn samenwerkingspartners. Als waardevol werd ervaren dat al meerdere gezamenlijke projecten met de halfgeleiderexpert Infineon waren afgerond: „We werken al jaren samen“, bevestigt IPMS-projectleider Dr. Malte Czernohorsky. „Bij dit project hebben experts van het Fraunhofer samen met collega’s van Infineon nauw samengewerkt. De teams zijn inmiddels goed op elkaar ingespeeld. De samenwerking was altijd resultaatgericht, en de collega’s van Infineon stonden zeer open voor onze impulsen“, prijst Czernohorsky. „Vanwege de goede ervaringen uit de voorgaande jaren denken we al na over vervolgprojecten.“

Deze mijlpaal en de uitbreiding van de capaciteit op het gebied van de Smart-Power-fabriek illustreren de voortdurende inspanningen van Infineon om haar positie als toonaangevende leverancier van hoogvermogen schakelingen, vooral op de locatie Dresden, verder te versterken. Met de nieuwbouw van de Smart Power Fab doet Infineon een van de grootste individuele investeringen in haar geschiedenis. Het doel van de halfgeleiderfabrikant is om het tempo van de uitbreiding van haar productiecapaciteiten voor halfgeleiders te verhogen en de Europese locatie verder te versterken in de chipproductie. Dit is een belangrijke bijdrage om de wereldwijd toenemende vraag naar halfgeleiders te dekken – bijvoorbeeld voor toepassingen in hernieuwbare energie, datacenters en elektromobiliteit.

De werkzaamheden van Infineon worden gefinancierd binnen het kader van een project van gemeenschappelijk Europees belang (Important Projects of Common European Interest, IPCEI) op het gebied van micro-elektronica en communicatietechnologieën door de Europese Unie, het Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz en de deelstaat Saksen. Met deze financiering worden ontwikkelingen ondersteund die gericht zijn op toekomstbestendige, innovatieve micro-elektronica en communicatietechnologieën tot aan de marktintroductie. Zo wordt de Europese waardeketen voltooid en bijgedragen aan de Europese technologische soevereiniteit, en wordt klimaatbescherming bevorderd door energie-efficiënte technologieën en processen.