-
- Lucht
"GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – nauwkeurig bewaken van veeleisende afvoermengen in halfgeleider-cleanrooms"
Reinruimtes worden vaak gekenmerkt doordat een hoogzuivere toevoerlucht wordt geconfronteerd met sterk vervuilde afvoerlucht. Zo ontstaan bijvoorbeeld bij halfgeleiderproducties met hun natchemische fabricageprocessen agressieve afvoerkwaliteiten.
Om chemische reacties tussen verschillende afvoerarte…








