-
- vzduch
„GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – přesné sledování náročných množství odvětrávání v čistých prostorách polovodičů“
Reinräume jsou často charakterizovány tím, že k nim je připojena vysoce čistá přívodní vzduch a silně zatížený odvodní vzduch. Například při výrobě polovodičů s jejich mokrochemickými výrobními kroky vznikají agresivní odvodní plyny.
Pro zabránění chemických reakcí různých typů odvodních plynů a také pro rozlišení m…








