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"GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – monitorare con precisione le quantità di aria esausta in ambienti di sala pulita nel settore dei semiconduttori"
I locali di reinserimento sono spesso caratterizzati dal fatto che un'aria di mandata altamente pura si oppone a un'aria di scarico fortemente caricata. Così, ad esempio, nelle produzioni di semiconduttori con le loro fasi di produzione chimicamente umide, si verificano qualità di scarico aggressive.
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