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- Wissenschaft
Materialcharakterisierung von Metalloxiden und organischen Materialien
Entwickler von Dünnschicht-Gas-Sensoren profitieren von geheizter Substrat-Plattform
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS entwickelt und fertigt individuelle beheizbare Test-Chips für die Charakterisierung neuer Materialien der Gas-Sensorik. Darauf abgeschiedene sensorische Schichten und deren anwendungsspezifische Parameter, wie Sensitivität und Selektivitä…