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Imec zeigt einen Weg zur Halbierung des Leitungswiderstands durch Semi-Damascene mit High-Aspect-Ratio Processing
Imec, ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für Nanoelektronik und digitale Technologien, präsentierte auf der IEEE International Interconnect Technology Conference 2022 (IITC 2022) Technologien zur Verringerung des Metallleitungswiderstands bei engen Metal Pitches, um den Ans…