OmniGrade: Pfeiffer Vacuum bietet ein neues maßgeschneidertes RGA-System für anspruchsvolle Reinheitsnachweise

Pfeiffer Vacuum bietet ein neues maßgeschneidertes RGA-System für anspruchsvolle Reinheitsnachweise. / Pfeiffer Vacuum offers a new customized RGA system for sophisticated cleanliness verification.

– Restgasanalysesystem mit niedrigen Nachweisgrenzen
– Automatisierter Messprozess
– Kundenanforderungen modular bedienen

Neben Vakuumpumpen, Lecksuchern, Mess- und Analysegeräten, Bauteilen sowie Vakuumkammern und -systemen bietet Pfeiffer Vacuum nun auch maßgeschneiderte Komplettlösungen in Form von Restgasanalysesystemen (RGA) an. Schnell aufstrebende Märkte mit hohen technischen Anforderungen legen immer mehr Wert auf hervorragende Sauberkeit, da molekulare Verunreinigungen die Funktionalität ihrer Produkte negativ beeinflussen. Daher definieren immer mehr Kunden höhere Anforderungen an die Reinheit. Im Bereich der EUV-Lithographie werden diese beispielsweise durch die „Generic Standards“ GSA 07 1221 & GSA 07 2221 definiert. Der Schlüssel zur Sicherung der Produktqualität liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasungsraten unter Hochvakuumbedingungen mit dem neuen kundenspezifischen System von Pfeiffer Vacuum namens OmniGrade.

OmniGrade ist ein hochentwickeltes Restgasanalysesystem, bei dem das Design so gewählt wird, dass es den spezifischen Prüfanforderungen entspricht. Ein Team von Pfeiffer Vacuum Experten erarbeitet die bestmögliche Lösung für diese Anforderungen unter Berücksichtigung der Gesamtkosten und der Vorlaufzeiten. Eine Konfiguration umfasst zwei oder drei Kammern. Sie besteht aus der Spektrometerkammer, in der das Massenspektrometer positioniert wird, sowie einer Messkammer, in der die Proben während der Messung platziert werden. Eine Schleusenkammer zur Minimierung des Systemuntergrunds und des Probentransports durch ein automatisches Transfersystem ist optional erhältlich. OmniGrade wurde für einen geringen Platzbedarf und eine einfache Integration mit den neuesten Schnittstellen konzipiert. Zudem ist eine Reinraumkompatibilität möglich. Das Massenspektrometer kann entsprechend den Anforderungen ausgewählt werden (PrismaPro oder HiQuad). Thermisches Heizen, entweder des reinen Systems oder zusammen mit der Probe (Bake-out), trägt zur weiteren Optimierung der Messfähigkeit und zur Verbesserung der Probenreinheit bei.

„OmniGrade wurde mit energieeffizienten Komponenten und fortschrittlichen Technologien ausgestattet, die Abfall und Emissionen reduzieren. Es trägt dazu bei, die Prozesse zur Überprüfung der Reinheit zu optimieren, was zu weniger Abfall und einer effizienteren Nutzung der Ressourcen in der Produktion des Kunden führt", sagte Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments bei Pfeiffer Vacuum, auf der Precision Fair.