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- Elektronik (Wafer, Halbleiter, Mikrochips,...)
Ein neuartiger 300-mm-Integrationsansatz für Bauelemente auf Basis von 2D-Materialien ermöglicht skalierte n- und p-FETs mit einem contacted poly pitch von 50 nm.
ASML, TSMC und imec machen industrietaugliche Transistoren aus 2D-Materialien durch bahnbrechende 300-mm-Integration greifbarer
– ASML, TSMC und imec stellen einen innovativen 300-mm-Integrationsprozess für Transistoren auf Basis von 2D-Materialien vor, mit dem erstmals skalierte n- und p-FETs mit einem Kontaktabstand (CPP) von 50 nm realisiert werden, die mittels EUV-Lithografie strukturiert wurden.
– Bei den skalierten nFET…








