Hochpräzise Inline-Messung dünner Schichten

Die neuen Weißlicht-Interferometer der Serie interferoMETER IMS5200-TH werden für nanometergenaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100 Mikrometern eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24 kHz sind die neuen Weißlicht-Interferometer für dynamische Messaufgaben in der Halbleiterfertigung – a…

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