Pontosság vákuumban: Szabályozó- és vákuumtechnika kulcsfontosságú az új technológiákhoz

Hatásfaktorok a vákuumra

A vákuum- és tisztatértechnika kéz a kézben jár, és sok jövőbe mutató technológia alapját képezi. Mind a tisztatértechnika, mind a vákuumtechnika kontrollált környezetet teremt, amely megszünteti a nem kívánt befolyásoló tényezőket, ezáltal jelentősen növelve a precizitást, a tisztaságot és a hatékonyságot ipari és tudományos alkalmazásokban. Egy tiszta vákuum létrehozásával célzottan eltávolíthatók a nem kívánt részecskék, gázok és szennyeződések, ezáltal jelentősen javítva a termékek minőségét.

A Streicher Maschinenbau GmbH & Co. KG egyesíti a vákuum- és tisztatértechnológiát, hogy jelentősen javítsa az egyedi, teljesen automatizált vákuumrendszereik vákuumteljesítményét.

Az ultrahigh-vákuum-technológia (UHV) egyik központi szempontja a különböző vákuumhatások, például a párolgás kontrollálása – az filmrétegek párolgása vákuumban. A vákuumfelületeken maradt hűtő-kenőanyagok, zsírok vagy tisztítószerek maradványai megakadályozhatják az extrém alacsony működési nyomások elérését, mivel a párolgás növeli a gázterhelést a vákuumrendszeren belül. Az irreverzibilis szennyeződés megelőzése érdekében vízalapú közbenső tisztításokat és vizuális tisztasági ellenőrzéseket – Water Break Test, Wischtest, UV- és fehérfény ellenőrzés – alkalmaznak már a gyártási folyamat során. Ezek a módszerek a makacs szennyeződések korai felismerésére szolgálnak, amelyeket csak súroló gyártási módszerekkel lehet eltávolítani. Emellett az egész gyártási láncot a szennyeződés elkerülése és megelőzése alapelvei szerint kell vizsgálni. A szennyeződések, amelyek nem kerülnek a komponensekre, később nem igényelnek idő- és költséges eltávolítást. A gyártási folyamatot kiegészítve a működési és segédanyagok célzott kiválasztásával, valamint a tisztatéri szerelés és üzembe helyezés (≤ ISO7) biztosítja, hogy a finom tisztítás után ne maradjanak nem kívánt molekuláris maradványok a vákuumkamrában.

Ezenkívül a vákuumfolyamat technológia tervezésekor ügyelni kell arra, hogy működés közben ne forduljanak elő nem kívánt visszafolyások a kamra belsejébe.

Az UHV teljesítményének optimalizálásához egy másik kulcsfontosságú lépés a nevezett „Bakeout” folyamat. A vákuumrendszer 120 °C feletti hőmérsékletre való felfűtése legalább 24 órán keresztül elősegíti a nem kívánt molekulák deszorpcióját, amelyeket ezután a vákuumpumpák eltávolítanak a rendszerből. A bakeout rövidíti a pumpálási időket is, mivel hatékonyan eltávolítja a maradék vizet a vákuumfelületekről. Ugyancsak bevált módszer a vákuum belső alkatrészeinek előzetes hevítése szerelés előtt, mivel ez minimalizálja az alkatrészekből származó gázkibocsátást, amelyet diffúziós és deszorpciós folyamatok hajtanak végre a vákuum működése közben.

Ez a megalapozott vákuumismeret lehetővé tette a Streicher Maschinenbau számára, hogy egy teljesen automatizált, 28 tonnás UHV vákuumberendezést üzemeltessen, amely 27 m³ belső térrel rendelkezik, tisztatéri körülmények között, és elérte a 3,5 × 10⁻¹¹ mbar végnyomást. A még jobb vákuumteljesítményt a FKM tömítőanyag permeációs hatásai korlátozták, amelyet többek között a 4 x 4 méteres ajtó tömítésére használtak. Továbbá, a jó RGA eredmények miatt a projekt ütemtervének érdekében elhagyták a bakeout folyamatot, így a RGA spektrum vízcsúcsát jelentősen csökkentve, és elérve egy még jobb végnyomást.

A maradékgázanalízis (RGA) egy elterjedt, nem destruktív vizsgálati módszer a vákuumiparban, amely kvantitatív módon méri és határozza meg a könnyen és nehezen párolgó molekulaszerkezeteket.

Ezekkel a megközelítésekkel a vállalat bemutatja, hogyan lehet a legmodernebb technológiákat és szilárd szaktudást kihasználni az ultrahigh-vákuum technológia követelményeinek való megfelelés érdekében. Ezáltal fontos hozzájárulást nyújt a precizitás és a hatékonyság további fejlesztéséhez az ipari alkalmazásokban.