Gázkibocsátás ellenőrzés alatt – A tisztaság biztosítása a félvezetőgyártásban

Alapvető tények egy pillantásra

– evolast® új mércét állít a tisztaság terén a félvezetőiparban: fejlesztve az ultra-alacsony kipufogási teljesítményért, amely védi a folyamat integritását kritikus plazma-, hő- és nedves kémiai környezetekben.
– A legkorszerűbb alacsony kipufogási képességű elasztomer…