Új burkolat az analóg-digitális integrált áramkörök gyártásához 6" és 8" szilíciumlapokon

Ehrenmedaille a szakterületi befejezésért a tisztatéri mennyezet korai elkészítéséért 01/2012

A X-FAB Semiconductor Foundries AG a drezdai helyszínen analóg-digitális integrált áramköröket gyárt megrendelésre 6" és 8" szilíciumlapokon. A tisztatérben, amely ISO 4 tisztasági osztályú szűrőfödémmel rendelkezik az EN-ISO 14644 szerint, 1984-ben helyezték üzembe. Ettől az időponttól fogva a H14 DIN-EN1822 szintű szűrő a tisztatéri födémben nem lett cserélve. Körülbelül 25 év elteltével a szűrő nyomásvesztesége jelentősen megnőtt, és a szűrő szivárgásmentessége egyre problémásabbá vált a falak és nyomásterek szükséges módosításai során.

A primer rendszerek (külső levegő ellátó rendszerek) körülbelül 10%-os térfogatáram-arányával, valamint a szekunder rendszerek (keringető rendszerek) 1.400.000 m³/h térfogatárammal több nyomáson keresztül táplálják a 1600 m²-es szűrőfödémet több nyomásteremben. A szivárgásmentességet akkor sík tömítésekkel és epoxigyantába öntéssel érték el, amely elválasztó közegként szolgált. A szűrőkeretek cseréje a meglévő acélszerkezetben nem volt lehetséges. Ezért lehetőség nyílt arra, hogy a régi szűrőket kivágják, és a nyomástartó födém maradjon minden hátrányával együtt. Az új szűrőfödém 50 cm-rel a régi szűrőkeretek alá lett akasztva, és szorosan csatlakozott minden meglévő fallal nyomásmentesen.

A különleges követelmények az új szűrőfödémmel kapcsolatban:
- "at rest" ISO 4 tisztasági osztály nyomásfödémként, gáztömör
- az épület meglévő berendezéseivel való átalakítás
- új U15 DIN-EN1822 szűrők, bórmentes szűrőpapírral
- átalakítás több szakaszban, gyártási körülmények között
- gáztömör födémcsatlakozás a meglévő falakhoz és tartókhoz
- szigetelés a meglévő falakon a nyomásfödém területén
- szigetelés a födém közötti szakaszban
- épületszerkezeti dilatációs hézag bevonása a tömör födémbe
- a lehető legrövidebb építési idő a műszakos munkarendben

A megoldást a WISAG saját csomópont-tisztatéri fedélzeti rendszerével valósították meg. A bonyolult falcsatlakozáshoz 3-4 tömítéssorozatot alkalmaztak szilárd és tartós rugalmasságú hézagként. Az első építési szakasz, mint mintaterület, egy kis 36 m²-es rész volt. Itt különböző tömítési módszereket próbáltak ki a nyomásfödémekre, és a tömítési rendszerek megbízhatóságát szivárgás- és tisztasági osztály mérésével igazolták. Természetesen a tanúsítvánnyal rendelkező szűrők alkalmazása alapkövetelmény volt.

A 2012 elején befejeződött az új tisztatéri födém, amely kb. 1600 m² alapterületen készült el 3 év alatt, 10 építési szakaszban. Ennek eredményeként most az ISO3 tisztasági osztályt érik el.

Továbbá a külső levegő ellátó rendszerekben H13 részecskeszűrőket szerelnek fel, hogy csökkentsék a külső levegőtől függő részecskék mennyiségét az új tisztatéri szűrőfödémen. A beszívó levegő szűrő nyomásvesztesége a szűrő hatékonyságának növelése ellenére is csökkent, a régi szűrőknél 250 Pa-ról az új szűrőknél 60 Pa-ra.

Érdekes megfigyelés, hogy a szűrő nyomásvesztesége 25 év alatt "csak" 250 Pa-ra nőtt, amit a tisztatéri ruházat, a jó személyzetképzés és a kb. 0,3–0,35 m/s közötti közepes elmozdulási sebesség eredményezett. A szűrő élettartama most ismét több mint 20 év, és jelentős energia-megtakarítás érhető el ezzel a megoldással.

A jó munkamegosztásnak és a folyamatos munkafolyamat-fejlesztéseknek köszönhetően minden szakaszban csökkent a felújítási idő m²-re vetítve. A megrendelő egy dicséretként egy 200 mm-es szilíciumlapát ábrázoló díszoklevelet adott át.