Seminar-Themen:

– Die Qualifizierung des Reinraumes
– Messtechnik gemäss ISO 14644-1
– Anforderungen der ISO 14644-2
– Prüfverfahren für physikalische Parameter gemäss ISO 14644-3
– Aspekte der Reinraummessgeräte
– Praktischerteil im CAS-Reinraum
– Anforderungen des Annex 1
– Praktische Durchführung von Kalibrationen im Labor