Sujecores para obleas para la industria de semiconductores

Porta-objetos para obleas para la industria de semiconductores

Los dispositivos electrónicos son cada vez más pequeños, y sus funciones más extensas. Esto plantea altas exigencias a las técnicas de fabricación de la industria de semiconductores, que continúa con esta tendencia mediante técnicas de acabado muy precisas. Sin embargo, los obleas extremadamente delgadas requieren técnicas especiales de manejo para evitar daños como roturas de obleas o similares.

Witte Bleckede, fabricante de diferentes sistemas de sujeción al vacío, diseña, construye y fabrica desde hace varios años los llamados «chucks» para obleas en la industria de semiconductores. En los chucks de vacío, las obleas se mantienen sin dañarse. La superficie de sujeción está hecha de un material microporoso (entre otras cosas, apto para salas limpias de clase 10); debido a su microestructura, materiales muy finos se fijan de forma absolutamente plana y sin daños. Se pueden alcanzar planitudes y paralelismos de plano de <5µm. Los pasadores de tope, que se pueden retirar de la placa, facilitan la colocación de las obleas dentro del rango de sujeción requerido. No es necesario cubrir las superficies libres, lo cual es imprescindible en muchos sistemas de vacío.

Tras el procesamiento, las obleas se levantan suavemente mediante pasadores de elevación controlados por aire comprimido con mecanismo de freno integrado, y pueden ser extraídas con un efector final.

Imagen: Tres áreas de sujeción separadas y controlables para obleas de diferentes tamaños. Los pasadores de tope facilitan la posición, los pasadores de elevación con mecanismo de freno levantan la oblea de forma «suave».