-
- F+E a Sdružení zájmů
Technická čistota: Stanovení jednotlivé čistoty - od automobilového průmyslu po zdravotnický průmysl
1. Požadavky na partikularní čistotu
Při výrobě integrovaných obvodů s strukturální šířkou až do současnosti 22 nm v polovodičovém průmyslu je vysoká míra požadované partikularní čistoty přímo zřejmá. Partikularní čistota, tedy nepřítomnost kritických částic v mikrometrovém rozsahu, je však také důle…








