Maximální výkon ve vysokém vakuu

Nový vysokovakuový ventil série XLJ díky svému bezolovnatému hliníkovému pouzdru a připojenému ventilu na odvětrávání zvyšuje výkon řady vakuových systémů. (Foto: SMC Deutschland GmbH)

Pro vakuové systémy v automobilovém průmyslu, zdravotnické technice nebo výrobě polovodičů je třeba, aby všechny součásti poskytovaly maximální výkon. Nový vysokovakuový úhlový ventil série XLJ od SMC splňuje tyto požadavky a zvyšuje bezpečnost a produktivitu – díky odolnému hliníkovému pouzdru a funkcím, jako je ventilační ventil: Tento snižuje potenciální problémy s olejem a výpadky na minimum a zajišťuje tak efektivnější provoz celého vakuového systému.

Jako u všech svých vysokovakuových ventilů, i u série XLJ se společnost SMC spoléhá na kombinaci odolného hliníkového pouzdra a výkonnostně zvyšujících funkcí. Z toho těží vakuové systémy v mnoha odvětvích, například ve výrobě polovodičů, nátěrových nebo mrazicí sušicí zařízení. Tam a v dalších oblastech přispívá k vytváření co nejméně molekulárně volného prostoru nebo vysokého vakua v vakuových komorách. Minimální odpařování hliníkového pouzdra zkracuje dobu, než je tento stav dosažen (evakuace), nebo umožňuje použití vakuové pumpy s nižším výkonem. To šetří jak cenný čas, tak materiálové zdroje.

Vnějškově odolný, uvnitř produktivní

Kromě toho zvyšuje efektivitu příslušenství připojený ventilační ventil: Pokud je ventil během evakuace nebo v normálním provozu systému ještě zavřený, při vypnuté čerpadle nebo výpadku sítě se otevře a znovu nastaví tlak uvnitř čerpadla na atmosférickou úroveň. Tím se zabrání tomu, aby do vakuové komory pronikala hydraulická kapalina. Pozitivní efekty: Snížené výpadky a tím i efektivnější provoz systému, což činí například svařovací stroje produktivnější a elektronové mikroskopy výkonnější.

Díky elektrickému ovládání je použití vysokovakuového úhlového ventilu spojeno se zlepšenou flexibilitou instalace, zatímco již připojený ventilační ventil ušetří montážní práci. Navíc uživatelé série XLJ profitují z dalších výhod hliníkového pouzdra: Patří sem nižší hmotnost, vysoká odolnost proti korozi vůči agresivním médiím, jako je fluorovodík, a vynikající tepelná vodivost. Ta zajišťuje homogenní rozložení teploty uvnitř ventilu, což výrazně snižuje usazování procesních plynů.

Navíc je pouzdro ventilu zcela bez těžkých kovů, jako je nikl nebo chrom. To minimalizuje kontaminaci přicházejících médií a optimalizuje například kvalitu finálních produktů, které by mohly být kontaminovány těžkými kovy (například polovodičové prvky).

Vysokovakuové systémy profitují v mnoha odvětvích

Rozmanité výhody nového vysokovakuového úhlového ventilu s ventilační funkcí otevírají možnosti použití v řadě průmyslových odvětví. Tak například série XLJ nachází uplatnění v předprocesních fázích v oblasti polovodičového průmyslu, například u zařízení na etching, plazmové etching, sputtering nebo CVD.

Kromě toho využívá své přednosti v potravinářském průmyslu, zvyšuje tam produktivitu – například u zařízení na mrazení a sušení – a v oblasti zdravotnické techniky umožňuje přesnější pohled do elektronových mikroskopů. Dále se používá v zařízeních na snižování obsahu kyslíku, vakuových filtračních systémech nebo vakuově izolovaném vybavení.

Také v automobilovém průmyslu boduje v oblasti výroby, například u zařízení na povlakování hliníkem světlometů, u elektronových svarových strojů nebo detektorů a testů těsnosti. Série XLJ tak pomáhá vysokovakuovým systémům v řadě odvětví zvýšit výkon – a optimalizovat jejich procesní bezpečnost a produktivitu.