Fotolitografie w nowym świetle – Pomieszczenia czyste dla branży high-tech
Heidelberg Instruments projektuje, rozwija i produkuje systemy litografii laserowej bez maski do tworzenia mikrostruktur, obsługując tym samym światową społeczność fotolitografii zarówno w zakresie bezpośredniego pisania, jak i produkcji masek fotolitograficznych. Do obszarów zastosowań należą MEMS…








