Zeiss: Grote opdracht voor halfgeleiderequipment

De bedrijfssector Semiconductor Manufacturing Technology (Halfgeleidertechnologie) van Zeiss kon in februari een grote opdracht voor halfgeleiderapparatuur boeken. Een klant uit de VS bestelde bij de bedrijfssector Semiconductor Metrology Systems (SMS), met hoofdkantoor in Jena, in totaal tien apparaten voor de productie van halfgeleiders. Het ordervolume ligt in de dubbele miljoenen en toont de sterke reputatie van de bedrijfssector SMS bij haar klanten.

De apparatuur wordt ingezet in een speciaal segment van de halfgeleiderproductie: voor de optimalisatie van lithografische maskers. Met behulp van de Zeiss-apparaten kunnen maskers zeer nauwkeurig worden gemeten, fouten worden geanalyseerd en gerepareerd. „Zeiss is al vele jaren een nauwe partner van de grote chipfabrikanten. Met de huidige grote opdracht heeft een Amerikaanse chipfabrikant ons volledige productassortiment besteld“, aldus Dr. Oliver Kienzle, voorzitter van de directie van Carl Zeiss SMS GmbH. „Dit is een groot succes dat ons laat zien welk vertrouwen de klant in ons heeft en welke betekenis de Zeiss-producten inmiddels hebben in de halfgeleiderindustrie.“ Het ordervolume in de dubbele miljoenen verzekert bovendien een goede basis voor het huidige en komende boekjaar, voegt Kienzle toe.

De apparaten worden ontwikkeld op drie locaties van Carl Zeiss SMS GmbH in Jena, Roßdorf (bij Darmstadt) en Karmiel (Israël) en worden in Jena en Israël geproduceerd. Om zich voor orders van deze omvang adequaat voor te bereiden, renoveert en breidt SMS sinds juli vorig jaar een groot deel van de cleanroomcapaciteiten in Jena uit. Na voltooiing van de verbouwingswerken in mei 2014 zal het volledige productiegebied voldoen aan de hoge eisen van de halfgeleiderproductie.