-
- F+E & Belangenvereniging
Toekomstthema: Geschiktheid voor cleanroomgebruik van apparatuur en machines
Cleanzone 2015: Nanodeeltjes leiden tot verscherpte cleanroomnormen
De disciplines groeien samen: Eerst ontmoeten mechanica en elektronica elkaar, nu versmelten ook halfgeleider-elektronische en optische modules. De opto-elektronische hybrides stellen nog hogere eisen aan de cleanroomtechniek. Hiervoor moet in de eerste plaats de luchtbelasting door deeltjes worden…








