Nieuwe witte druk VDI 2083 blad 9.1 "Reinraumtechnologie - Oppervlaktezuiverheid en reinheidsgeschiktheid"

Betriebsmittel en ruimte-luchttechnische componenten bezitten geen genormeerde reinheidsklasse, maar slechts een geschiktheid voor gebruik in cleanrooms, waarvan de luchtzuiverheid op een genormeerde wijze is gespecificeerd. Dit betekent dat Betriebsmittel en ruimte-luchttechnische componenten bijvoorbeeld beoordeeld kunnen worden met betrekking tot het gebruik in de cleanroomomgeving op basis van een gedefinieerde deeltjesreinheidsklasse van de lucht.

Parameters voor de geschiktheid voor reinheid kunnen bijvoorbeeld het ESD-gedrag, de emissie van licht vluchtige organische stoffen, de reinigbaarheid of het sedimentatiegedrag van deeltjesvormige verontreinigingen op technische oppervlakken zijn. Welke hiervan in het individuele geval moeten worden gecontroleerd, hangt af van het proces.

Naast de geschiktheid voor reinheid beschrijft VDI 2083 blad 9.1 de oppervlakte-reinheid en de classificatie daarvan.