-
- Producten, apparaten, systemen, installaties voor toepassingen
Optische wafer-level karakterisering van MEMS-dynamiek met automatische wafer-kaartverwerking, receptbeheer en cleanroom-integratie in fab-gestuurde workflows.
Volautomatisierte MEMS-Schwingungsanalyse in Reinraum: Polytec Micro System Analyzer nu met ISO-3-certificering en scriptautomatisering
Met de Micro System Analyzers (MSA-600, MSA-650 IRIS, MSA-100-3D) richt Polytec zich al jaren op contactloze karakterisering van MEMS-dynamiek en topografie – van enkelvoudige chips tot waferniveau op proefstations. De huidige uitbreiding combineert deze optische meettechniek met een gecertificeer…
