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Caracterización óptica a nivel de oblea de la dinámica MEMS con procesamiento automático de mapas de obleas, control de recetas e integración en sala limpia en flujos de trabajo controlados por la fábrica.
Análisis de vibraciones MEMS totalmente automatizado en sala limpia: Polytec Micro System Analyzer ahora con certificación ISO-3 y automatización de scripts
Con los analizadores de micro sistemas (MSA-600, MSA-650 IRIS, MSA-100-3D), Polytec ha abordado durante años la caracterización sin contacto de la dinámica y topografía de MEMS, desde dispositivos individuales hasta niveles de obleas en estaciones de prueba. La actualización actual combina esta…
