-
- Apparaten
Hoge precisie inline-metingen van dunne lagen
De nieuwe witlicht-interferometers uit de serie interferoMETER IMS5200-TH worden ingezet voor nanometerprecieze diktemetingen van 1 tot 100 micrometer. Met een meetfrequentie tot 24 kHz zijn de nieuwe witlicht-interferometers geschikt voor dynamische meettaken in de halfgeleiderfabricage – ook in va…








