
AIST entwickelt Graphen auf 300 mm Wafern mit AIXTRON Anlage
Das National Institute Advanced Industrial Science and Technology (AIST) in Japan hat eine AIXTRON BM 300-Anlage erfolgreich in Betrieb genommen. Die Anlage wurde 2011 von AIXTRONs Serviceteam im Reinstraum des japanischen Instituts in Tsukuba installiert. Im Rahmen der MRS Spring Konferenz 2012 pr�…