De la idea al mercado – El Fraunhofer IPMS apoya a la industria con tecnologías innovadoras

Cámara limpia MEMS de 200 mm. © Fraunhofer IPMS / Cámara limpia MEMS de 200 mm. © Fraunhofer IPMS

300 mm CMOS Sala limpia del Centro de Tecnologías Nanoelectrónicas. © Fraunhofer IPMS / 300 mm CMOS Sala limpia del Centro de Tecnologías Nanoelectrónicas. © Fraunhofer IPMS

Capacidades de litografía MEMS con clúster DUV de 248 nm y stepper iLine de 365 nm. © Fraunhofer IPMS / Capacidades de litografía MEMS con clúster DUV de 248 nm y stepper iLine de 365 nm. © Fraunhofer IPMS

En la próxima SEMICON Europa, la feria más grande de Europa para la microelectrónica, el Instituto Fraunhofer para Sistemas Microópticos y Fotónicos IPMS presentará numerosas innovaciones tecnológicas. Estas incluyen una emocionante variedad de temas en los ámbitos de semiconductores, sensores, Internet de las Cosas, automoción y tecnología médica. Los demostradores y las conversaciones con investigadores del Fraunhofer IPMS hacen que estas tecnologías sean tangibles. La SEMICON Europa se celebrará nuevamente como feria presencial del 16 al 19 de noviembre en el Centro de Congresos de Múnich.

En la SEMICON Europa se reúnen líderes del mercado a lo largo de toda la cadena de suministro de la microelectrónica, desde el desarrollo hasta la fabricación. Como parte de la presencia en la feria de Silicon Saxony, el Fraunhofer IPMS presentará sus resultados de investigación actuales en un stand propio. Aquí, los visitantes de la feria podrán obtener una visión de las tecnologías más recientes y aprender cómo estas pueden contribuir a posibilitar aplicaciones futuras.

El Centro de Tecnologías Nanoelectrónicas (CNT) del Fraunhofer IPMS desarrolla tecnologías de semiconductores en obleas de 300 mm y trabaja en la integración de funcionalidades innovadoras en plataformas CMOS existentes. Un enfoque importante es la investigación en conceptos de almacenamiento novedosos y componentes de alta frecuencia basados en materiales ferroeléctricos compatibles con CMOS. Además, se trabaja en sistemas de gestión de energía eficientes que integran baterías de estado sólido, recolectores de energía y condensadores embebidos. También se investigan sistemas neuromórficos, tecnologías para computación cuántica y componentes basados en espín. Para su investigación, el CNT utiliza un parque de instalaciones modernas y flexible, y una amplia gama de procesos de fabricación en un nuevo ambiente limpio compatible con la industria.

El concepto de Fab de cribado del CNT permite a proveedores de consumibles, fabricantes de equipos y empresas de semiconductores probar nuevos materiales y procesos de fabricación. »La oferta de servicios abarca desde la calificación de pasos de fabricación como limpieza o etching, galvanizado de cobre y CMP, hasta la evaluación de nuevos precursores para el depósito de capas atómicas«, resume la Dra. Wenke Weinreich, jefa del área del CNT en el Fraunhofer IPMS. Además, el CNT ofrece una amplia gama de métodos para el análisis físico de fallos y la caracterización eléctrica de componentes semiconductores.

Los investigadores del CNT presentarán en el stand del Fraunhofer IPMS en la SEMICON Europa ejemplos de trabajos de investigación y desarrollo en curso. Entre ellos, condensadores embebidos para sistemas electrónicos miniaturizados. Para la evaluación de procesos de fabricación CMP, disponen de chips de prueba desarrollados por ellos mismos.

Otra área del Fraunhofer IPMS que se presentará en la SEMICON Europa ofrece a sus clientes un servicio completo para el desarrollo de sistemas microelectromecánicos (MEMS) y microóptico-electromecánicos (MOEMS) en obleas de 200 mm. Estos se fabrican en la sala limpia de microtecnología compatible con CMOS del instituto. »El desarrollo tecnológico y el soporte de las tecnologías MEMS, desde procesos individuales hasta módulos tecnológicos y procesos completos, así como el soporte técnico de las instalaciones en la sala limpia, están garantizados por nuestro equipo«, explica Thomas Zarbock, jefe del área de Ingeniería, Fabricación y Pruebas de MEMS en el Fraunhofer IPMS. »A petición del cliente, después del desarrollo o integración exitosos, asumimos la fabricación piloto o apoyamos una transferencia tecnológica a una fundición. Con nuestro modelo de negocio en el área de MEMS, el Fraunhofer IPMS cubre los niveles de madurez tecnológica (TRL) del 3 al 8«, continúa Zarbock.

En el stand de la SEMICON Europa, los investigadores de la fabricación de MEMS de 200 mm del Fraunhofer IPMS presentarán dispositivos MEMS de alta exigencia. Entre ellos, moduladores de luz de superficie, que recientemente también se fabrican mediante litografía DUV en la sala limpia de MEMS, para adentrarse en el mundo de la holografía. Para consultas y una presentación de todos los servicios, los expertos y expertas estarán disponibles en la feria.