Od nápadu na trh – Fraunhofer IPMS podporuje průmysl inovativními technologiemi

200 mm MEMS čistá místnost. © Fraunhofer IPMS / 200 mm MEMS čistá místnost. © Fraunhofer IPMS

300 mm CMOS čistírna v centru Nanoelectronic Technologies. © Fraunhofer IPMS / 300 mm CMOS čistírna v centru Nanoelectronic Technologies. © Fraunhofer IPMS

MEMS-Lithografie-Kapazitäten mit 248 nm DUV-Cluster und 365 nm iLine Stepper. © Fraunhofer IPMS / MEMS-Lithografie-Fähigkeiten mit 248 nm DUV-Cluster und 365 nm iLine Stepper. © Fraunhofer IPMS

Na nadcházející SEMICON Europa, největším evropském veletrhu pro mikroelektroniku, představí Fraunhoferův institut pro fotonické mikrosystémy IPMS řadu technických inovací. Ty zahrnují poutavý mix témat z oblastí polovodičů, senzoriky, Internetu věcí, automobilového průmyslu a medicínského technologií. Demonstrátory a rozhovory s výzkumníky z Fraunhofer IPMS činí tyto technologie hmatatelnými. SEMICON Europa se letos opět koná jako fyzický veletrh od 16. do 19. listopadu v Kongresovém centru v Mnichově.

Na SEMICON Europa se setkávají lídři trhu napříč celým dodavatelským řetězcem mikroelektroniky – od vývoje po výrobu. Jako součást prezentace Silicon Saxony představí Fraunhofer IPMS své aktuální výzkumné výsledky na vlastní stánku. Návštěvníci veletrhu zde mohou získat přehled o nejnovějších technologiích a dozvědět se, jak mohou přispět k umožnění budoucích aplikací.

Centrum Nanoelectronic Technologies (CNT) Fraunhofer IPMS vyvíjí polovodičové technologie na 300mm waferech a pracuje na integraci inovativních funkcí do stávajících platforem CMOS. Hlavním zaměřením je výzkum nových konceptů pamětí a vysokofrekvenčních prvků na bázi ferroelektrických, CMOS-kompatibilních materiálů. Dále se pracuje na energeticky efektivních systémech správy napájení, které spojují pevné články, harvester a vestavěné kondenzátory. Kromě toho jsou zkoumány neuromorfní systémy, technologie pro kvantové výpočty a spinové prvky. Pro svůj výzkum využívá CNT flexibilní moderní zařízení a širokou škálu výrobních procesů v novém průmyslově kompatibilním čistém prostoru.

Koncept screening-fabu CNT umožňuje dodavatelům spotřebního materiálu, výrobcům zařízení a firmám zabývajícím se polovodiči testovat nové materiály a výrobní procesy. „Nabídka služeb sahá od kvalifikace výrobních kroků, jako je čištění nebo etchování, pokovování mědí a CMP, po hodnocení nových precizorů pro atomové vrstvy,“ shrnuje Dr. Wenke Weinreich, vedoucí oddělení CNT v Fraunhofer IPMS. Navíc CNT nabízí široké spektrum metod pro fyzikální analýzu chyb a elektrickou charakterizaci polovodičových prvků.

Výzkumníci CNT představí na stánku Fraunhofer IPMS na SEMICON Europa příklady z aktuálních výzkumných a vývojových prací. Patří sem vestavěné kondenzátory pro miniaturizované elektronické systémy. Pro hodnocení výrobních procesů CMP jsou k dispozici vlastnoručně vyvinuté testovací čipy.

Další oblastí Fraunhofer IPMS, která se na SEMICON Europa představí, je kompletní servis pro vývoj mikroelektromechanických systémů (MEMS) a mikro-optoelektromechanických systémů (MOEMS) na waferech o velikosti 200 mm. Ty jsou vyráběny v čistém prostoru mikrosystémové techniky kompatibilní s CMOS. „Technologický vývoj a podpora MEMS technologií, od jednotlivých procesů přes technologické moduly až po kompletní výrobní cykly a technickou podporu zařízení v čistém prostoru, zajišťuje náš tým,“ vysvětluje Thomas Zarbock, vedoucí oddělení MEMS Engineering, Manufacturing & Test v Fraunhofer IPMS. „Na přání zákazníků přebíráme po úspěšném vývoji nebo integraci pilotní výrobu nebo podporujeme technologický transfer do foundry fabu. S naším obchodním modelem v oblasti MEMS pokrýváme technologické stupně zralosti (TRL) od tří do osmi,“ dodává Zarbock.

Na stánku na SEMICON Europa představí výzkumníci z výroby MEMS na 200 mm v Fraunhofer IPMS vysoce náročné MEMS zařízení. Patří sem například povrchové světelné modulátory, které se nyní mimo jiné vyrábějí pomocí DUV-litografie v čistém prostoru MEMS, aby se ponořily do světa holografie. Na otázky a prezentaci všech služeb jsou k dispozici odborníci a odbornice na veletrhu.