Z průkopníka v oblasti regenerativních filtrů AMC
Vysoce účinné filtrační materiály pro nákladově efektivní filtraci venkovního vzduchu
Oběhového vzduchu a procesního vzduchu
Problém:
Speciální výzvou při výrobě polovodičů s malými strukturálními rozměry jsou vzduchem přenášené, plynové látky, které mohou vyvolat nežádoucí chemické reakce na povrchu w…








