Elektrostatyczne naładowanie i jonizacja powietrza w pomieszczeniu czystym

W ostatnim czasie osiągnięto znaczące postępy w optymalizacji produkcji pod względem odpadów w produkcji ultraczystych półprzewodników oraz innych procesach produkcyjnych w warunkach czystego pomieszczenia. Niemniej jednak, nawet w klasie 1 czystych pomieszczeń, pozostają problemy związane z niepożą…