-
- Automatyzacja
Systemy LITHOSCALE® oparte na technologii EVGs MLE⢠(Maskless Exposure) umożliwiają wykorzystanie zalet lithografii cyfrowej w szerokim zakresie zastosowań i rynków
EV Group wprowadza maskless lithography z LITHOSCALE® do produkcji na dużą skalę
EV Group (EVG), wiodący projektant i producent urządzeń do zastosowań związanych z bondowaniem wafli i lithografią w przemyśle półprzewodnikowym, mikrosystemach i nanotechnologii, przedstawiła dzisiaj system bezmaskowej ekspozycji LITHOSCALE® - pierwszą platformę produktową opartą na rewolucyjnej te…








