Kontrollierte Entgasung – Sicherung der Reinheit in der Halbleiterfertigung

Kluczowe fakty w skrócie

– evolast® wyznacza nowy standard czystości w przemyśle półprzewodnikowym: zaprojektowany do ultra-niskiej emisji gazów, chroniącej integralność procesu w krytycznych środowiskach plazmowych, temperaturowych i chemii wodnej.
– Najbardziej zaawansowany elastomer o niskiej emisji gazów…