X-FAB breidt MEMS-productiecapaciteit uit met twee nieuwe MEMS-fabrieken

X-FAB Silicon Foundries heeft de uitbreiding van de MEMS-productiecapaciteiten op de Duitse locaties Erfurt en Itzehoe succesvol voortgezet en daarmee een belangrijke mijlpaal bereikt. Vanwege de grote vraag naar MEMS-productiediensten breidt X-FAB de cleanroom-ruimte in twee nieuwe MEMS-fabrieken uit met in totaal meer dan 2.000 m². Tot de bij X-FAB vervaardigde MEMS-componenten behoren druksensoren, microspiegels, microfoons en microfluidicsystemen, die worden gebruikt in mobiele, consumptiegoederen-, medische en automobieltoepassingen. Klanten die CMOS- en MEMS-oplossingen nodig hebben, hebben tegelijkertijd toegang tot de bestaande CMOS-wafersfabrieken van X-FAB.

“De twee uitbreidingen komen op een interessant moment, waarin de markt voor MEMS blijft groeien,” zei Dr. Peter Merz, Business Unit Manager MEMS bij X-FAB. “Met de nieuwe MEMS-fabriieken zijn we uitstekend voorbereid op volumefabricage en kunnen we voldoen aan de groeiende vraag die we bij klanten waarnemen.”

In Erfurt beschikt X-FAB over nieuwe cleanroom-ruimtes van 1.300 m², speciaal voor de MEMS-productie, op dezelfde locatie als de reeds bestaande CMOS- en MEMS-fabs. De nieuwe cleanroom is ontworpen voor de massaproductie van 200-mm MEMS-processen. De eerste installaties worden in december van dit jaar verwacht.

In Itzehoe verhuist de MEMS-productie van X-FAB naar een ultramoderne fabriek van 1.000 m², die samen met Fraunhofer ISIT wordt gebruikt, een onderzoeksinstituut voor micro-elektronica en microsystemtechniek dat eveneens in Itzehoe is gevestigd. De nieuwe 200-mm-fabriek stelt X-FAB in staat de productiecapaciteiten en procesmogelijkheden uit te breiden. Daarnaast zal X-FAB de samenwerking met het Fraunhofer-instituut op het gebied van productie en ontwikkeling verder versterken. De fabriek in Itzehoe werd op 28 mei 2014 officieel geopend, en de eerste tools zijn al geïnstalleerd.

Dr. Merz voegde hieraan toe: “X-FAB biedt haar klanten een grote verscheidenheid aan CMOS-processen voor analoog/mixed-signal, hoogspannings- en vermogentoepassingen, in een unieke combinatie met een breed scala aan MEMS-procesmogelijkheden. Onze klanten profiteren ervan alles uit één hand te kunnen verkrijgen — in uitstekende kwaliteit en in grote aantallen. Door de integratie van MEMS en CMOS en de actieve ondersteuning bij interfacebeheer op alle niveaus, vereenvoudigt X-FAB het supply chain-proces van onze klanten aanzienlijk.”