VOC in de cleanroom

Online VOC Meetapparaat: GO-ATC

Chefontwikkelaar Gröger & Obst GmbH Helmut Gröger

Medebestuurder MCRT GmbH Andreas Machmüller

Luchtgedragen chemische verontreinigingen – zogenaamde ACC (Airborne Contamination by Chemicals) – kunnen in cleanrooms van alle industrieën en onderzoeksfaciliteiten grote problemen veroorzaken, ja zelfs leiden tot vernietiging van het product of proces, maar kunnen ook invloed hebben op de gezondheid van de mens.

Deze chemische verontreinigingen kunnen bijvoorbeeld worden vrijgegeven door oplosmiddelhoudende lijmen, machineolie, uit het proces zelf, of ook uit reactieve vloersystemen, coatings, verf, lakken en vele andere materialen en bouwstoffen, maar vooral ook van buitenaf worden aangezogen of vrijgezet en in de lucht van de productieruimtes terechtkomen.

Een van de belangrijkste rollen hierin spelen luchtgedragen organische verontreinigingen, de zogenaamde VOCs (Volatile Organic Compounds).

Bij de tot nu toe gebruikte methoden voor het detecteren van de daadwerkelijk aanwezige waarden moesten de monsters omslachtig worden verzameld van dragermaterialen of via bubbling en vervolgens in het laboratorium worden geanalyseerd met dure en complexe analysemethoden. Daarbij kwam nog het uitgebreide in- en uitschakelen van de monsters. Online methoden die werken met H2 en vlam waren en zijn bovendien absoluut ongeschikt voor cleanrooms.

Het nu voorgestelde ONLINE apparaat, de GO-ATC, is ontwikkeld door Gröger & Obst en is een apparaat voor echte online meting van koolwaterstoffen in gassen, of eenvoudiger gezegd, het is een apparaat voor het vaststellen van VOCs in de lucht en kan direct in de ruimte worden gebruikt (aanzuiging via een slang tot 10 m) en heeft slechts stroom nodig.

De met het apparaat bereikbare detectiegrens van 1ppb en de selectieve meting maken de GO-ATC tot een bijzonderheid onder de mobiele, niet-laboratorium gebonden meetapparaten.

Over de meetmethode van de GO-ATC:

Het overal in de lucht aanwezige en niet-schadelijke methaanbestanddeel ligt in concentraties van 1-5 ppm, afhankelijk van het weer, en wordt bij de metingen met de GO-ATC selectief gemeten en meegenomen.

De in de cleanroom aangezogen lucht wordt binnen de GO-ATC verdeeld in de meetzijde (links), waar alle koolstofverbindingen thermisch worden omgezet in CO2, en de rechter vergelijkingszijde, waar de cleanroomlucht alleen wordt verwarmd.

Met een hoogprecisieanalysator wordt nu vastgesteld of en hoeveel CO2 er op de linkerzijde meer aanwezig is dan op de rechter. Hoge of plotseling stijgende CO2-waarden aan de meetzijde zijn een duidelijk teken van vervuilde cleanroomlucht.

De GO-ATC registreert alle koolstofverbindingen en heeft dus niet het nadeel van sensoren die op slechts enkele stoffen zijn gericht. Want een VOC is, ongeacht welke stof erachter schuilgaat, een koolstofverbinding. Deze wordt omgezet in CO2, gedetecteerd en weergegeven.

De door de GO-ATC geleverde somparameter minus de eveneens weergegeven CH4-waarde geeft dus de daadwerkelijk gemeten VOC-waarde ONLINE.

Samen met de cleanroom-specialist, MCRT GmbH, voert de GRÖGER & OBST Vertriebs- en Service GmbH VOC-metingen uit in verschillende cleanrooms om de DIN ISO 14644-8.1 ACC klasse aan te tonen of bronnen van emissie op te sporen. Vervolgens kunnen mogelijkheden tot het adsorberen van de contaminanten door het inbouwen van diverse adsorptiemiddelen worden onderzocht, voorgesteld en geïnstalleerd door MCRT.