PORR bouwt voor X-FAB chipfabriek in Erfurt

De nieuwe halfgeleiderfabriek in Erfurt. © Roland Kirschner/AEE

Onder de projectnaam Fab4Micro bouwt X-FAB op de locatie Erfurt een nieuwe halfgeleiderfabriek voor microsystemen. Gepland en gebouwd wordt deze door PORR. Het internationale bouwbedrijf bundelt in de sector industriebouw haar competenties en decennia lange ervaring als totaalpartner voor de planning en uitvoering van dergelijke installaties. Terwijl de mechanische structuren op de chips kleiner en complexer worden, groeien de eisen aan de productieomgeving, met name aan de flexibiliteit, energie-efficiëntie en toekomstige automatisering.

In de nieuwe fabriek van X-FAB in Erfurt – een zogenaamde Microsystems Fab – worden in de toekomst met behulp van innovatieve fabricagemethoden micro-elektromechanische systemen (MEMS) en heterogeen geïntegreerde systemen op waferniveau geproduceerd. Ze zijn onder andere bedoeld voor gebruik in de automobielindustrie, medische technologie of ook in de industriële sector. PORR is verantwoordelijk voor de planning en bouw van de nieuwe fabriek. Tot de opdracht behoren een cleanroomproductiegebied van ongeveer 3.500 m2, een direct aangrenzend kantoorgedeelte en de integratie van de fabriek in de bestaande locatie.

„De markt voor halfgeleiderchips groeit onophoudelijk, gedreven door kunstmatige intelligentie, maar ook door toekomsttechnologieën zoals autonoom rijden. Dit zorgt ook bij ons voor groei, omdat de vraag naar cleanrooms toeneemt“, zegt PORR-CEO Karl-Heinz Strauss. Met haar Chips Act heeft de EU-commissie meer dan EUR 52 miljard aan publieke en private investeringen gemobiliseerd. Volgens SEMI World Fab Forecast zullen de wereldwijde uitgaven voor fabrieksapparatuur tot 2027 met 9% stijgen tot USD 166 miljard.

Trillingsvereisten en uitvalbeveiliging

„Cleanrooms stellen zeer bijzondere eisen aan planning en bouw“, legt Strauss uit. Aan de ene kant moeten ze praktisch trillingsvrij zijn: ze moeten stevig gebouwd worden, zodat bijvoorbeeld trillingen uit het wegverkeer de productiemachines niet bereiken. Ze moeten ook uitvalbestendig zijn, omdat de bedrijfsvoering het hele jaar door 24/7 doorgaat. De planning is vaak uitdagend: de verschillende disciplines moeten nauwkeurig op elkaar afgestemd worden. Vooral de veiligheidsvoorschriften voor het werk zijn zeer streng.

„De eisen worden voortdurend hoger“, aldus Strauss. Zo worden de structuren die op de chips geëtst worden, steeds kleiner en complexer. Daarnaast worden de verwachtingen aan de energie-efficiëntie hoger: inmiddels is bijvoorbeeld hergebruik van restwarmte met behulp van warmteterugwinning en het gebruik van PV-installaties standaard geworden.

PORR beschikt inmiddels over decennia lange ervaring in de realisatie van cleanrooms voor de halfgeleider- en biotechindustrie. Ze heeft al meerdere honderdduizenden m2 aan cleanrooms gebouwd en zich gevestigd als totaalpartner, die in staat is om van de planning tot de „Hook-Up“ van de machines en de ingebruikname cleanrooms turn-key op te leveren. Tot de klanten behoren onder andere Infineon Technologies, ams OSRAM en Bayer.